最新情報
ガラスウエハ厚みムラ・反り測定装置
2019年6月12日
透明板の表面形状、裏面形状、板厚分布を一括高速測定 今まで複数の測定機で計測していた表面形状、裏面形状、板厚分布を一括高速測定することが可能になりました。 ※ サンプルを精密に位置決めする必要なし
光学可視化装置ならびにエリプソメ－タの測定の原理、測定法について
2016年6月25日 セミナー情報
これからお使いになる方、最近始められた方を対象に基礎的な内容でセミナーを2コ－ス開催致しております。受講料は無料ですのでお気軽にお申し込み下さい。 光学可視化装置のご紹介（マッハツェンダ－干渉計、シュリ－レン装置） エリ …
Siウェハー表面評価装置（STシリーズ）
2016年6月25日 製品情報
長年培ってきた弊社シュリーレン技術と古来より重宝されてきた魔鏡の原理を応用し、ウェハー等基盤の表面形状を非接触且つ高精度に検査致します。 本装置は12inchウェハー対応のST-300ですが、18inchウェハー対応製品 …
