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検査装置

INJ噴霧解析装置

鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器

P119

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研磨製品

40余年培われた高精度光学研磨技術

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平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

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特注品

様々な特注品を製作します!

P160

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平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

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二光束干渉計 透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

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ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

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マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

P125

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

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繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

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