検査装置

INJ噴霧解析装置

鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器

P119

研磨製品

40余年培われた高精度光学研磨技術

平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

特注品

様々な特注品を製作します！

P160

平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

二光束干渉計　透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127