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検査装置

INJ噴霧解析装置

鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器

P119

平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

二光束干渉計 透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

P125

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

P131

自動エリプソメータ(入射角可変型)

試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ

P132

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