鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器
P119
試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定
P121
比較的大きなうねりを評価する事が可能
P122
微小領域の密度分布測定が行える
P123
最も分解能の高い106オーダーの分光器
P124
微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能
P125
広視野表面形状の3次元測定
P126
2nm以上の高精度測定が可能
P127
試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ
P131
試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ
P132
