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検査装置

平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

二光束干渉計 透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

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