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検査装置

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

P131

自動エリプソメータ(入射角可変型)

試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ

P132

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