光学機器・測定装置から光学研磨まで
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検査装置

ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

P125

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

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