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試験機

平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

二光束干渉計 透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

P125

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

可視化装置 ベーシックタイプ

直径80cmシュリ-レン凹面鏡による観測

P111

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

P131

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