光学機器・測定装置から光学研磨まで
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試験機

マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

P125

可視化装置 水中超音波シュリーレン装置

光学的可視化法で音場に影響を与えない

P115

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

マッハツェンダー干渉計 ベーシックタイプ

各種CCDカメラ、一眼レフデジカメ、高速度カメラ等の対応が可能

P111

自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

P131

自動エリプソメータ(入射角可変型)

試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ

P132

光弾性実験装置、歪検査器

比較的単純な原理を基に応力解析が可能

P118

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