測定・試験・検査

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126

可視化装置　Siウエハー表面評価装置

微小域まで高精度検査

P116

繰り返し反射干渉計

2nm以上の高精度測定が可能

P127

マッハツェンダー干渉計　ベーシックタイプ

各種CCDカメラ、一眼レフデジカメ、高速度カメラ等の対応が可能

P111

自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

P131

マッハツェンダー干渉計　コンパクト(SL兼用含む)

簡単な操作で即干渉測定

P117

自動エリプソメータ(入射角可変型)

試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ

P132

光弾性実験装置、歪検査器

比較的単純な原理を基に応力解析が可能

P118

複屈折測定装置

CD、CD－ROM，MO、MD、DVD光各種ディスクの複屈折位相差を高速で測定

INJ噴霧解析装置

鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器

P119