測定・試験・検査

マッハツェンダー干渉計　コンパクト(SL兼用含む)

簡単な操作で即干渉測定

P117

光弾性実験装置、歪検査器

比較的単純な原理を基に応力解析が可能

P118

INJ噴霧解析装置

鏡面状サンプル表面の微小凹凸欠陥を検査する投影式表面検査器

P119

平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

P121

平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

P122

二光束干渉計　透過型二光束干渉顕微鏡

微小領域の密度分布測定が行える

P123

ファブリペロ干渉計

最も分解能の高い106オーダーの分光器

P124

可視化装置

屈折率変化の可視化が可能

広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

P126