微小領域の密度分布測定が行える
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最も分解能の高い106オーダーの分光器
P124
微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能
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広視野表面形状の3次元測定
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2nm以上の高精度測定が可能
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試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ
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試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ
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CD、CD－ROM，MO、MD、DVD光各種ディスクの複屈折位相差を高速で測定
40余年培われた高精度光学研磨技術
様々な特注品を製作します！
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