光学機器・測定装置から光学研磨まで C102

沿革

沿革

大正14年5月 溝尻房蔵創業
昭和22年5月 東京大学内に溝尻研究所設立
昭和27年2月 シュリーレン測定装置開発 
昭和28年5月 溝尻光学工業株式会社に組織変更
昭和28年5月 マッハツェンダー干渉計開発 
昭和28年5月 回転「ビーコン」用特殊放物面鏡完成により海上保安庁長官感謝状受領
昭和29年8月 溝尻寛 株式会社溝尻光学工業所設立 (現在地/現組織)
昭和39年4月 エリプソメータの開発製造
昭和44年1月 三音速風洞用シュリーレン装置納入により三菱重工業株式会社名古屋航空機製作所より感謝状受領
昭和46年7月 1m赤外望遠鏡製作により京都大学より感謝状受領
昭和54年3月 自動エリプソメータ開発
昭和54年12月 光ディスク自動キズ検査装置開発
昭和55年3月 透過型二光束干渉顕微鏡開発
昭和57年2月 磁気ヘッド浮上量検査装置開発
昭和57年4月 溝尻寛 マッハツェンダー干渉計、シュリーレン測定装置の開発・育成により科学技術振興功績者科学技術庁長官賞受賞
昭和59年4月 溝尻寛 藍綬褒章受章
平成1年3月 入射角自動設定型エリプソメータDHA-XAシリーズ開発
平成5年5月 自動消光式エリプソメータ開発
平成5年12月 位相シフトマスク位相差測定装置開発
平成7年2月 「平面度測定用干渉計」日本発明振興協会発明功労賞受賞
平成7年3月 「位相シフトマスク位相差測定装置」
平成7年10月 航空宇宙技術研究所向け極超音速風洞用観測窓有効径1mシュリーレンシステム納入により川崎重工業(株)より感謝状受領
平成7年10月 普及型エリプソメータDVA-FLシリーズ開発
平成8月1月 700×800mmフォトマスク用大型平面度干渉計開発
平成8年8月 φ12インチウエハー用フィゾー型平面度検査器開発
平成9年2月 600×700mm測定用自動エリプソメータ開発
平成9年3月 マッハツェンダー型2波長干渉顕微鏡製造(宇宙搭載用EM)
平成9年6月 波長板位相差測定装置開発
平成12年6月 マッハツェンダー型2波長干渉顕微鏡製造(宇宙搭載用FM)
平成13年6月 φ12インチウエハー用斜入射型平面度検査器開発
平成13年12月 単結晶板欠陥評価装置開発
平成14年6月 成膜制御用トラッキングエリプソメータDCA-FZT発売
平成15年6月 水中超音波観測用シュリーレン装置SLC-D100P発売
平成17年6月 分光複屈折エリプソメータ開発

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3492-1905(代表)

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