光学機器・測定装置から光学研磨まで

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光学可視化装置ならびにエリプソメ-タの測定の原理、測定法について

これからお使いになる方、最近始められた方を対象に基礎的な内容でセミナーを2コ-ス開催致しております。受講料は無料ですのでお気軽にお申し込み下さい。 光学可視化装置のご紹介(マッハツェンダ-干渉計、シュリ-レン装置) エリ …

Siウェハー表面評価装置(STシリーズ)

長年培ってきた弊社シュリーレン技術と古来より重宝されてきた魔鏡の原理を応用し、ウェハー等基盤の表面形状を非接触且つ高精度に検査致します。 本装置は12inchウェハー対応のST-300ですが、18inchウェハー対応製品 …

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