STシリーズ

STシリーズ

長年培ってきた弊社シュリーレン技術と古来より重宝されてきた魔鏡の原理を応用し、ウェハー等基盤の表面形状を非接触且つ高精度に検査致します。 本装置は12inchウェハー対応のST-300ですが、18inchウェハー対応製品も製作致します。 常時、デモ可能となっておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。