FT-300WSは、φ300mmサイズの大口径ガラスウエハの全面一括 高速測定を可能にした非接触型の波長シフト方式フィゾー干渉計です。

ガラス等の透明平行板をフィゾー干渉計で測定する場合、表面、裏面、表裏面の 3つの干渉縞が重なってしまうため、複数の測定機で計測する必要がありましたが、 重なった干渉縞を分離する解析方法の開発により、「表面形状」、「裏面形状」、「板厚分布」を 一度に全面一括で高速測定することが可能となり、大幅な作業時間の短縮を実現しています。

装置仕様

最大測定エリア12インチ(φ305mm)
タクトタイム30秒 ~ 2分/枚
サンプル保持方法水平置きまたは、垂直置きから選択
測定精度①分解能:水平方向0.15mm 垂直方向0.1nm
②再現性:2nm以下 (σ)
③基準面精度:λ/10 (λ=632.8nm)
◆産業用製品比較サイト メトリー【平面度測定器10選記事】はこちら