FT-300WSは、φ300mmサイズの大口径ガラスウエハの全面一括 高速測定を可能にした非接触型の波長シフト方式フィゾー干渉計です。
ガラス等の透明平行板をフィゾー干渉計で測定する場合、表面、裏面、表裏面の 3つの干渉縞が重なってしまうため、複数の測定機で計測する必要がありましたが、 重なった干渉縞を分離する解析方法の開発により、「表面形状」、「裏面形状」、「板厚分布」を 一度に全面一括で高速測定することが可能となり、大幅な作業時間の短縮を実現しています。
装置仕様
| 最大測定エリア | 12インチ（φ305mm） |
| タクトタイム | 30秒 ～ 2分／枚 |
| サンプル保持方法 | 水平置きまたは、垂直置きから選択 |
| 測定精度 | ①分解能:水平方向0.15mm 垂直方向0.1nm ②再現性:2nm以下 (σ) ③基準面精度:λ/10 (λ=632.8nm) |
