マイケルソン干渉計

微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能

平行光をビームスプリッターにより2つの光路に分割し、2つに分かれた光束をそれぞれ2枚の平面鏡で反射させ、元の光路を通りビームスプリッターで重ねる事により干渉縞が生じる。

一方は高精度平面鏡で、他方は被検面で反射させる事により、平面度測定や段差測定も可能となる。 また、白色光を使い白色干渉縞（カラーフリンジ）を解析する事で、不連続な干渉縞も観測が可能となり、フィゾー式では困難な微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定が可能。

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