可視化装置 Siウエハー表面評価装置

微小域まで高精度検査

年培ってきたシュリーレン法の技術と、鏡の裏側の文字や造形等の凹凸を映し出す魔鏡の原理を応用して、Siウェハー等基盤の表面状態(加工痕・凹凸・歪・面荒れ等)を非接触且つ高精度に検査が可能

■シュリーレンレンズを搭載している為、微小域まで高精度検査
■ご要望に合わせた倍率切替機能
■検出感度可変機能

※18inchウェハー対応の装置も製作致します。
※特注仕様の製作も行います。

特徴

光源 LED光源 2.8W
測定視野 φ305
倍率 1× 1.5× 切替機能(標準)

製品情報

主な用途 ○衝撃波の観測
○衝撃波の観測、燃料噴霧、燃焼観測
○衝撃波の観測、燃料噴霧、燃焼観測
○ガス噴流、シールドガス流の観測
○伝熱・対流の可視化
○液体・気体の拡散観測
○界面現象の観測
○材料均質性の検査
○水中超音波の可視化
○水中超音波の可視化
○成長層の可視化、材料均質性の検査
○脈理検査、材料均質性の検査
○平面検査

製品仕様

感度 可変
外形寸法 約h930mm×w450mm×d815mm
オプション ご要望に合わせた様々なオプションをご用意、詳しくは問い合わせください。