平面度検査器(フィゾー式)

試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定

フィゾー式平面度検査器は、干渉性の高い光を試料に照射し、基準平面と試料表面からの反射光を干渉させ、
試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定ができる。

特徴

製品分類 ■FT-Uシリーズ
■FT-LDシリーズ