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平面度検査器(フィゾー式)
平面度検査器(フィゾー式)
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各種干渉計
平面度検査器(フィゾー式)
試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定
フィゾー式平面度検査器は、干渉性の高い光を試料に照射し、基準平面と試料表面からの反射光を干渉させ、
試料表面の面精度を干渉縞の変位として非接触で測定ができる。
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■FT-LDシリーズ
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