平面度検査器(斜入射式)

比較的大きなうねりを評価する事が可能

フィゾー式では面のうねりが数μmを超えると縞本数が多くなり、実用面で測定が困難となる為、斜入射方式を採用する事により干渉縞感度を抑え、比較的大きなうねりを評価する事が可能。
干渉縞感度はプリズム光学系では0.8μm~3μm可変・ミラー光学系では2μmまたは4μmとなっており、試料に合わせた感度での測定が可能です。

ミラー光学系は、測定視野が□250㎜を超えるプリズムは材料入手が困難となる為、弊社考案のミラー光学系斜入射式を採用する事により超大型試料の測定も可能にした検査器です。

特徴

製品分類 ■プリズム斜入射式平面度検査器
干渉縞感度0.8μm~3μm可変
FT-MPシリーズ
■ミラー光学系斜入射式平面度検査器
測定面積が□250㎜を超える試料に対応
FT-Mシリーズ