広視野表面形状測定装置

広視野表面形状の3次元測定

本装置は、マイケルソン干渉計を採用した世界最高速の表面形状測定装置です。

新しい信号処理アルゴリリズムを搭載し、高速Z軸走査を実現。(100μm/min)
また、最大視野φ50mm・測定レンジ100μmですので、幅広い試料に対応。
透明膜測定ソフトにて、透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定も可能。

また、上記以外にもお客様のご要望に合わせての特注仕様品の製作も承っております。
お気軽にお問い合わせ下さい。

製品情報

主な用途 ○半導体IC
○フィルム
○光学部品
○LCD基板
○PDP基板
○MEMS