自動エリプソメータ(入射角可変タイプ)

試料水平置き、入射角ステップ可変の小型エリプソメータ

標準的な試料サイズは、12インチ程度までとなっている。

入射角は、55°~75°を5°刻み及び90°の設定ができる。
DHA-OLXシリーズでは、回転検光子法、回転移相子法が選択可能です。

※12インチ以上の大きな試料に関しましても特注対応が可能です。
※上記以外にも、要望に合わせて特注仕様品の製作も可能、詳細は問い合わせ下さい。