自動エリプソメータ

試料水平置き、入射角手動可変の小型エリプソメータ

標準的な試料サイズは、4インチ程度までとなっている。

入射角はデジタルパネル表示されており、50°~75°及び90°を最小0.1°刻みで設定可能です。

DHA-FXシリーズでは、回転検光子法、回転移相子法が選択可能です。

※上記以外にも、要望に合わせて特注仕様品の製作も可能、詳細は問い合わせ下さい。