ガラスウエハ厚みムラ・反り測定装置

透明ガラス基板の全面一括高速測定

FT-300WSは、φ300mmサイズの大口径ガラスウエハの全面一括
高速測定を可能にした非接触型の波長シフト方式フィゾー干渉計です。

特徴

ガラス等の透明平行板をフィゾー干渉計で測定する場合、表面、裏面、表裏面の3つの干渉縞が重なってしまうため、
複数の測定機で計測する必要がありましたが、重なった干渉縞を分離する解析方法の開発により、
「表面形状」、「裏面形状」、「板厚分布」を一度に全面一括で高速測定することが可能となり、
大幅な作業時間の短縮を実現しています。