自動エリプソメータ

非接触でシリコンウェハ、ガラス、セラミックス、金属などの表面の薄膜の膜厚と屈折率および基板の屈折率、吸収係数を測定します。
高速で安定性の良いロータリーアナライザー偏光解析法を採用したサンプル水平置タイプの操作性の良い自動エリプソメータ。

小型ながら高速測定で生産ラインの品質管理に最適です。入射角55°、60°、70°、90°フレキシブル手動可変・自動タイプのバリエーション
12インチサンプルステージまで対応。手動式x-y、z軸　(傾きチルトタイプ)からx-y軸自動マッピング機能まで。

測定方式に関しましては、下記3方式を採用しております。ご用途に応じ、ご選択下さい。

• 回転検光子法
• 回転移相子法
• 消光法

自動エリプソメータの分類

試料水平置きは最大12インチまで、試料垂直置きは最大4インチまでとなっております。

試料ステージは、固定、手動、自動（X-YもしくはR-θ）から選択可能です。いずれも、試料傾き調整用の2軸アオリ機構は常備されております。

また、上記サイズ以外に関しましても特注仕様の製作を行います。
お気軽にお問い合わせ下さい。