干渉計の概要
平面度検査器（フィゾー式）FT-100U
ファブリペロ干渉計
溝尻光学の可視化装置は高精度光学研磨技術を柱とした製品です。
1939年の創業以来、高精度光学研磨技術を柱とし、先端技術の進歩を支援する各種の光学測定器を設計・製造してまいりました。その中で、可視化装置と並び長年ご愛顧いただいている製品が干渉計であり、様々な分野で広く使用されております。最近では、Siウェハやセラミックス等の各種材料の高精度平面度測定や厚みムラ測定、超微小域の凹凸・段差の高精度測定等に活躍しております。 また、特殊仕様のファブリペロー干渉計は超高分解能装置として好評を得ております。 研究開発から製造現場での品質管理まで、お客様のご要望に適した装置をご提供致しますので、溝尻光学の各種干渉計群をお役立て下さい。
干渉計の分類
| 分類 | 特長 | 製品名 |
|---|---|---|
| 波長シフト方式フィゾー干渉計 | ガラスウエハ・ガラス基板等の透明基板の表面・裏面・厚みムラを一括高速測定 |
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| 平面度検査器（フィゾー式） | Siウェハ・GaAsウェハ・ガラス・セラミックス等の高精度な平面度測定及び、透明体の平行平面板の厚みムラ評価 |
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| 平面度検査器（斜入射式） | フィゾー式では測定が困難な比較的大きなうねりの試料（ハードディスク・ガラスディスク等）の平面度測定 |
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| 二光束干渉計 | 光ファイバー・導波路等の屈折率測定、及び分布評価 | |
| ファブリペロ干渉計 | レーリ散乱、ラマン散乱、ブリルアン散乱等の測定 | ファブリペロ |
| マイケルソン干渉計 | 微小域の凹凸、段差、膜厚等の表面形状測定 |
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| 繰り返し反射干渉計 | 蒸着膜、スパッタリング膜等の膜厚段差や粗さ測定 |
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